隨著工業的發展和對外開放與技術合作的需要，我國對表面粗糙度儀的研究和標準化愈來愈被科技和工業界所重視，為迅速改變國內表面粗糙度儀方面的術語和概念不統一的局面，并達到與統一的作用，我國等效采用標準化組織(ISO)有關的標準制訂了GB3505-1983《表面粗糙度術語表面及其參數》。GB3505專門對有關表面粗糙度的表面及其參數等術語作了規定，其中有三個部分共27個參數術語：a.與微觀不平度高度特性有關的表面粗糙度儀參數術語。其中定義的常用術語為：輪廓算術平均偏差Ra、輪廓均方根偏差Rq、輪廓大高度Ry和微觀不平度十點高度Rz等11個參數。