干涉法利用光波干涉原理對表面粗糙度進行測量。

　　針刺描述法是用觸針在被測表面上輕輕劃過，以測量表面粗糙度的 Ra值。

　　車間中普遍采用比較法。用肉眼或借助放大鏡，比較顯微鏡對被測表面的粗糙度樣板進行比較；還可用手觸摸，指甲劃動感來判斷被加工表面的粗糙度。此方法通常用于粗糙度參數(shù)較大的近似評價。

　　光切的方法是利用“光切原理”測量表面粗糙度。

　　當粗糙度儀測量工件表面粗糙度時，將傳感器置于工件被測表面上，由粗糙度儀內(nèi)部驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動傳感器，沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內(nèi)置的銳利觸針感覺到被測表面的粗糙度，此時觸針會產(chǎn)生位移，這種位移會改變傳感器電感線圈的電感量，從而在相敏型整流器的輸出端產(chǎn)生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，信號經(jīng)放大和電平轉(zhuǎn)換后進入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)， DSP芯片對采集到的數(shù)據(jù)進行數(shù)字濾波和參數(shù)計算，粗糙度儀測量結(jié)果在液晶顯示器上讀取，也可在打印機上輸出，并可與 PC機通信。